【主管Q:34518577】可靠的无极网址多少?可见光的波长(400-700nm)使其无法以当今的工具拍摄各种相应解析度的纳米级物件。其处理之道一向是采用显描式电子显微镜(SEM)与原子力显微镜(ATM)来完成适宜的影像。但是，这些工具仍无法产生接近于“埃”(angstrom；纳米的非常之一)等级的解析度。一种新型的显微镜应用极紫外光(EUV)的飞秒(fs)脉冲可望打破这一限制——这种EUV与次10nm半导体微影技术所用的是相同的光波长。
这项惊人的打破来自美国科罗拉多大学波德分校(University of Colorado Boulder)的科学家，包括物理与电脑工程教授Margaret Murnane、Henry Kapteyn，他们联手开发了新型的EUV显微镜；这项研讨并得到了Semiconductor Research Corp. (SRC)的资助支持。

“SRC非常称心这项实验的结果，”SRC纳米制程资料与制程资深科学总监Kwok Ng表示：“当元件停顿到小于10nm时，无极注册1960通常会为其成像带来应战。因而，这种桌上型的EUV显微镜可望成为业界的一大福音。”

SEM与ATM都是大型、笨重且昂贵的设备，必需装配在专用桌面上。但是，EUV显微镜则可装置在实验室桌上，而且能轻松地在不同的位置之间移来移去或贮藏在柜子里。此外，无极平台真实性它还能以媲美最高解析度可见光波长相机所能完成的超高比照影像来简化测试作业，以至还能到达埃级的解析度。

该系统的工作原理是应用由30nm光源映照的光圈反射式显微镜，进步其波长至超高谐波。40-80nm横向解析度的全域影像构成仅6埃(0.6nm)轴向显析度以及约1分钟的曝光时间。此外，研讨团队也正努力于制造具有10fs解析度的纳米系统视频。